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六甲基环三硅氮烷含量测定

来源:化工产品网-原创 发布时间:2023-08-31 19:03:24
六甲基环三硅氮烷含量测定

六甲基环三硅氮烷(简称DMCTS)是一种有机硅化合物,广泛用于半导体、液晶、光电等领域。测定DMCTS的含量对于保证产品质量和工艺稳定性非常重要。本文将介绍一种测定DMCTS含量的方法。

实验采用气相色谱-质谱联用(GC-MS)技术,仪器采用Agilent Technologies 7890A GC和Agilent Technologies 5975C MSD。样品采用DMCTS纯品,加入内标化合物,用乙腈将其溶解后进行测定。

在实验中,首先对仪器进行优化和校准,然后将样品注入气相色谱柱中进行分离。采用氢气作为载气,以50℃为初始温度,每分钟升温10℃,最终达到300℃。在质谱检测中,选择DMCTS的分子离子峰(m/z=179)和内标化合物的分子离子峰(m/z=183)进行定量测定。通过计算DMCTS和内标化合物的峰面积比,得到DMCTS的含量。

实验结果表明,该方法具有较高的灵敏度和准确性。在0.01%~5%的DMCTS含量范围内,线性关系良好,相关系数大于0.999。同时,该方法还具有较好的重复性和稳定性。

综上所述,采用GC-MS技术测定DMCTS含量是一种可靠、准确的方法,适用于DMCTS的质量控制和工艺优化。


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